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과제명: 디스플레이 스퍼터 장비에서 진공용 대구경 아크리니어 모터 개발
기간 : 2023. 04. 01 - 2023 12. 31
내용: 디스플레이 스퍼터 장비용 진공에서 적용할 수 있는 대구경 Arc 리니어 모터 개발
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