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디스플레이 스퍼터 장비에서 진공용 대구경 아크 리니어모터 개발

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기간 2023. 04 - 2023. 12
지원기관 (주)코베리

과제명: 디스플레이 스퍼터 장비에서 진공용 대구경 아크리니어 모터 개발

기간 : 2023. 04. 01 - 2023 12. 31

내용: 디스플레이 스퍼터 장비용 진공에서 적용할 수 있는 대구경 Arc 리니어 모터 개발

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